技术指标：

1.电子束电流范围：1 pA - 400 nA；

2.电子束电压：200eV-30 keV，具有减速模式

3.电子束分辨率：0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV)

4.大束流Sidewinder离子镜筒；

5.离子束加速电压500V-30kV（分辨率：3.0 nm）；

6.离子束束流1.5pA-65nA，15孔光阑；

配置情况：

1.GIS气体注入：Pt沉积

2.Easylift纳米机械手（精度<500nm）

3.ETD SE、T1（筒内低位）、T（高位）探头

4.Nav-camTM：样品室内光学导航相机

5.AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件

适用样品：

半导体、金属、陶瓷材料截面加工及透射样品制备

技术指标：

1.电子束电流范围：1 pA - 400 nA；

2.电子束电压：200eV-30 keV，具有减速模式

3.电子束分辨率：0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV)

4.大束流Sidewinder离子镜筒；

5.离子束加速电压500V-30kV（分辨率：3.0 nm）；

6.离子束束流1.5pA-65nA，15孔光阑；

配置情况：

1.GIS气体注入：Pt沉积

2.Easylift纳米机械手（精度<500nm）

3.ETD SE、T1（筒内低位）、T（高位）探头

4.Nav-camTM：样品室内光学导航相机

5.AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件

适用样品：

半导体、金属、陶瓷材料截面加工及透射样品制备