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聚焦离子束系统FIB-SEM_Scios
检测周期：
未定
检测方式：
其他
报告类型：
电子文档
检测单项：
SEM-FIB加工（机时数<20小时）
SEM-FIB加工（机时数30小时）
SEM-FIB加工（机时数50小时）
TEM制样（样品数<10pcs）
TEM制样（样品数=10pcs）
TEM制样（样品数=20pcs）
技术指标：
1.电子束电流范围：1 pA - 250 nA；
2.电子束电压：200 eV – 30 keV
3.电子束分辨率：1.0 nm (30 keV)、1.6 nm(1 keV)
4.离子束分辨率：3.0 nm
配置情况：
1.金属源：pt，C
2.配备能谱
3.具有C、Pt等气体
4.配置机械手
擅长样品：
半导体、金属、陶瓷材料截面加工及透射样品制备
技术指标：
1.电子束电流范围：1 pA - 250 nA；
2.电子束电压：200 eV – 30 keV
3.电子束分辨率：1.0 nm (30 keV)、1.6 nm(1 keV)
4.离子束分辨率：3.0 nm
配置情况：
1.金属源：pt，C
2.配备能谱
3.具有C、Pt等气体
4.配置机械手
擅长样品：
半导体、金属、陶瓷材料截面加工及透射样品制备
该检测项目获得评价0次：
响应速度：
平均值：0.0（满分5分）
服务态度：
平均值：0.0（满分5分）
服务质量：
平均值：0.0（满分5分）
买家印象：
响应神速
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